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近日,中國電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院在金剛石散熱材料領(lǐng)域取得進(jìn)展,自主研發(fā)的大尺寸低成本自支撐金剛石晶圓實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破、產(chǎn)品規(guī)?;慨a(chǎn)。
金剛石導(dǎo)熱率可達(dá)銅的5倍以上,具備優(yōu)異的熱傳導(dǎo)、絕緣與力學(xué)穩(wěn)定性,可高效快速導(dǎo)出高功率半導(dǎo)體器件工作產(chǎn)生的集中熱量,顯著降低器件結(jié)溫、提升工作穩(wěn)定性,大幅延長器件使用壽命,是解決激光器、微波器件、電力電子裝備與高算力芯片散熱瓶頸的核心材料。
面對大尺寸金剛石晶圓制備的行業(yè)難題,中國電科產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)研究院研發(fā)團(tuán)隊(duì)持續(xù)攻關(guān),突破低應(yīng)力金剛石晶圓生長、高品質(zhì)超精細(xì)加工、自支撐結(jié)構(gòu)制備等一系列關(guān)鍵核心技術(shù),研制的金剛石晶圓產(chǎn)品尺寸規(guī)格、材料性能、成本控制均達(dá)到行業(yè)先進(jìn)水平,可作為高性能散熱載體與襯底材料使用。目前,該金剛石晶圓及配套散熱產(chǎn)品已在激光器、微波器件等重點(diǎn)領(lǐng)域開展應(yīng)用驗(yàn)證,為相關(guān)領(lǐng)域升級換代提供關(guān)鍵材料支撐。